1、層流超凈工作臺凈化效果及安裝更換：

高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫，都會導(dǎo)致達不到預(yù)定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。

2、檢漏目的

通過測試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補救措施。

超凈工作臺

3、檢漏范圍

潔凈區(qū)、層流超凈工作臺以及設(shè)備上的高效過濾器等。

4、檢漏方法

常用的是DOP法檢漏（即采用DOP溶劑作為塵源，與氣溶膠光度計配合檢漏），也可用塵埃粒子計數(shù)器掃描法來檢漏（即采用大氣塵作為塵源，與粒子計數(shù)器配合檢漏）。由于粒子計數(shù)器讀數(shù)為累積讀數(shù)，不利于掃描，巡檢速度慢；另外，在被測高效過濾器上風側(cè)，往往大氣塵濃度較低，需補充發(fā)煙才易發(fā)現(xiàn)泄漏，粒子計數(shù)器法檢漏的的這些不足DOP法恰恰可以彌補，故國外廣泛采用DOP法檢漏。

5、DOP法檢漏

5.1.工作原理

在被檢測高效過濾器上風側(cè)發(fā)DOP氣溶膠作為塵源（DOP即鄰苯二甲酸二辛酯，分子量390.57，噴霧后粒子呈球形狀），在下風側(cè)用光度計進行采樣，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室，含塵氣體經(jīng)過光度計產(chǎn)生的散射光由光電效應(yīng)和線性放大轉(zhuǎn)換為電量，并由微安表快速顯示，便可測得氣溶膠的相對濃度。 DOP試驗實際測得的是高效過濾器的穿透率。

超凈工作臺

5.2. 材料與儀器

① 塵源（DOP溶劑）；

② DOP發(fā)生器[為產(chǎn)生煙霧的裝置，DOP溶劑倒入發(fā)生器容器后，在一定壓力或加熱條件下產(chǎn)生氣溶膠煙霧被送入高效過濾器上風側(cè)（對DOP液體加熱，形成 DOP蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴，僅留下0.3μm左右的顆粒，霧狀DOP進入風道）；

③ 氣溶膠光度計（測定和顯示氣溶膠濃度的儀器，應(yīng)注明校驗有效期，必須是校驗合格且在有效期內(nèi)的方可使用）；

④ 氮氣；

⑤ 環(huán)氧樹脂硅膠；

⑥ 備用的所需型號的高效過濾器

5.3.檢漏試驗工作程序

5.3.1. 檢漏準備

準備好檢漏所需器材與待檢區(qū)域的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風管道道平面布置圖，并通知凈化空調(diào)設(shè)備公司于檢漏當日到場進行打膠及更換高效過濾器等操作。

5.3.2.檢漏操作

① 檢查氣溶膠發(fā)生器中DOP溶劑的液位是否高于低液位，不足則應(yīng)添加。